1應用概況

   熱式質量流量計目前絕大部分用于測量氣體，只有少量用于測量微小液體流量。

   熱分布式儀表使用口徑和流量均較小，較多應用于半導工業外延擴散、石油化工微型反應裝置、鍍膜工藝、光導纖維制造、熱處理淬火爐等各種場所的氫、氧、氨、燃氣等氣體流量控制，以及固體致冷中固體氬蒸發等累積量和閥門制造中泄漏量的測量等。在氣體色譜儀和氣體分析儀等分析儀器上，用于監控取樣氣體量。分流型熱分布式儀表應用于30~50mm以上管徑時，通常在主流管道上裝孔板等節流裝置或均速管，分流部分氣體到流量傳感器進行測量。

▲熱式質量流量計

   冷卻效應的插人式熱式質量流量計國外近10年在環境保護和流程工業中應用發展迅速，例如：水:泥工業豎式磨粉機排放熱氣流量控制，煤粉燃燒過程粉/氣配比控制，污水處理發生的氣體流量測量，燃料電池工廠各種氣體流量測量等等。大管道用還有徑向分段排列多組檢測元件組成的插人檢測桿，應用于鍋爐進風量控制以及煙囪煙道排氣監測SO2和NOx排放總量。

   液體微小流量熱式質量流量計應用于化學、石油化工、食品等流程工業實驗性裝置，如液化氣流量測量，注人過程中控制流量；高壓泵流量控制的反饋量；藥液配比系統定流量配比控制，如半導體成膜工藝中TMP(三甲基麟)、TEOS(三甲基嗅)、TEOS (四乙氧基烷)三種液體混合后再與氬氣混合；直接液化氣液態計量后氣化，供給工業流程或商業銷售。還有在色譜分析等儀器上用作定量液取樣控制以及用于動物實驗麻醉液流量測量。還未見到液體微小流量熱式質量流量計國內定型產品。

2流體種類和物性

   熱式質量流量計只能用于測量清潔單相流體—氣體或液體，用氣體的型號不能用于液體，反之亦然。對于熱分布式熱式質量流量計氣體還必須是干燥氣體，不能含有濕氣。流體可能產生的沉積、結垢以及凝結物均將影響儀表性能。對于熱分布式熱式質量流量計制造廠還應給出可接受的不清潔程度，例如大部分給出允許微粒粒度，用戶可按此決定是在儀表前裝過濾器。浸人式熱式質量流量計對清潔度要求低些，則可用于測量煙道氣，但必須裝有相應閥等插入機構，能在不停流條件下取出檢測頭。

▲熱式質量流量計

  （1）流體的比熱容和熱導率

   由于熱式質量流量計工作時流體的比熱容和熱導率保持恒定才能測量準確。被測介質工況溫度、壓力變化范圍不大，僅在工作點附近波動，比熱容變化不大，可視作常數。若工作點壓力溫度遠離校準時壓力溫度，則必須在該工作點壓力溫度下調整。表1列出幾種氣體在不同壓力溫度下的定壓比熱容，可看到其變化程度。

 表1 幾種氣體定壓比熱容

(2)流量值的換算

   熱分布式熱式質量流量計制造廠通常用空氣或氮氣在略高于常壓的室溫工況條件下標定(校準)。如實際使用工況有異或不用于同一氣體，均可通過各自條件下比熱容或換算系數換算。

   1）同一氣體不同工況的流量換算  從表1的數值可以看出空氣、氬氣、一氧化碳、氮氣、氧氣壓力在1MPa以下、溫度在400K以下變化，定壓比熱容變化僅在1%~2%之間，大部分使用場所可不作換算；壓力溫度變化較大時也可利用下式計算，因為同一氣體兩種工況條件下定壓比熱容的比值與摩爾定壓比熱容的比值是相等的。

   2）不同氣體間流量換算  有些制造廠的使用說明書給出以空氣為基數的轉換系數F,可按下式換算；也可直接以標定(校準)氣體和實際使用氣體的摩爾定壓比熱容按下式換算，但因還有熱導率等其他因素，換算后精度要降低些。表2給出若干氣體按摩爾定壓

 表2 幾種氣體的轉換系數

   比熱容直接計算和若干制造廠提供的兩種轉換系數數據，其中Freon 12兩者差別較大。各廠提供的轉換系數單雙原子氣體差別較小，僅百分之幾；烴類氣體則差別較大，達20%一30 %。

      式中qm——儀表標定的質量流量，但通常以標準狀態體積流量表征，L/h(標準狀態)；

        qm——待使用氣體的質量流量，L/H (標準狀態)；

         C_P——標定氣體的摩爾定壓比熱容，通常為空氣，J/ (mol.K);

         C'_P—待使用氣體的摩爾定壓比熱容，J/ (mol.K);

   浸人式熱式質量流量計由于上兩式中各系數由各個檢測元件幾何形狀和所測氣體而定，所以目前通常只能在實際使用條件下個別校準。

   3)混合氣體的換算和轉換系數

   混合氣體的換算亦按上式進行，惟其轉換系數Fmix按下式合成

   式中V1，V2，...，Yn為各成分氣體體積的占有率；F1, F2,... ,F。為各成分氣體的轉換系數。

▲熱式質量流量計

   (3)流體中含有異相和低沸點液體

   氣體用儀表，熱分布式必須是清潔氣體，不能有固相，浸人式則可允有微粒，但均不得含有水汽。測量液體時如混人氣泡會產生測量誤差。

   由于大部分熱式質量流量計要帶給流體一定熱量，流體溫度會升高，如所測液體是低沸點液體，應考慮液體氣化問題，必要時選用致冷元件的熱式質量流量計。